一种qdr槽喷淋板
1.技术领域：
2.本实用新型涉及快排冲洗槽技术领域，种Q作方尤其涉及一种qdr槽喷淋板。槽喷
3.
背景技术：
4.现有喷淋方式是淋板在晶圆片斜上方安装喷淋管，通过喷嘴对晶圆片进行喷淋清洗。种Q作方由于喷淋角度固定，槽喷无法对整个晶圆片进行喷淋，淋板清洗效果不是种Q作方很好。
5.
技术实现要素：
6.针对上述问题，槽喷本实用新型要解决的淋板技术问题是提供一种qdr槽喷淋板，包括qdr槽主体、种Q作方夹具、槽喷晶圆片、淋板喷淋管、种Q作方进液管、槽喷qdr喷淋板主体、淋板锥形喷嘴、qdr喷淋接头板、第一密封圈和第二密封圈；
7.所述qdr喷淋接头板安装在qdr喷淋板主体上，所述qdr喷淋接头板和qdr喷淋板主体中间设置有进行防漏液密封的第一密封圈和第二密封圈，所述qdr喷淋板主体上均匀设置有若干个锥形喷嘴，所述qdr喷淋板主体焊接在qdr槽主体的左侧板上，所述qdr槽主体通过夹具固定有晶圆片，所述晶圆片位于锥形喷嘴正对面位置处且晶圆片与锥形喷嘴距离为50-60mm，所述qdr喷淋板主体连接喷淋管和进液管。
8.优选的，所述锥形喷嘴设置有14个。
9.优选的，所述qdr喷淋接头板通过m6内六角螺丝安装固定在qdr喷淋板主体上。
10.本实用新型有益效果：将喷淋板直接焊接安装在晶圆片正对面，配合14个锥形喷嘴，完整覆盖了整个晶圆片，大大提高了喷淋清洗的效果，同时流量也大为提高，提高了清洗效率。
11.附图说明：
12.为了易于说明，本实用新型由下述的具体实施及附图作以详细描述。
13.图1为本实用新型整体结构示意图；
14.图2为本实用新型剖视图。
15.图中：1-qdr槽主体；2-夹具；3-晶圆片；4-喷淋管；5-进液管；6-qdr喷淋板主体；7-锥形喷嘴；8-qdr喷淋接头板；9-第一密封圈；10-第二密封圈；11-m6内六角螺丝。
16.具体实施方式：
17.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面通过附图中示出的具体实施例来描述本实用新型。但是应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。
18.如图1-2所示，本实用新型的一种qdr槽喷淋板，包括qdr槽主体1、夹具2、晶圆片3、喷淋管4、进液管5、qdr喷淋板主体6、锥形喷嘴7、qdr喷淋接头板8、第一密封圈9和第二密封圈10；
19.qdr喷淋接头板8通过m6内六角螺丝11安装固定在qdr喷淋板主体6上，qdr喷淋接头板8和qdr喷淋板主体6中间设置有进行防漏液密封的第一密封圈9和第二密封圈10，qdr喷淋板主体6上均匀设置有若干个锥形喷嘴7，qdr喷淋板主体6焊接在qdr槽主体1的左侧板
上，qdr槽主体1通过夹具2固定有晶圆片3，晶圆片3位于锥形喷嘴7正对面位置处且晶圆片3与锥形喷嘴7距离为50-60mm，qdr喷淋板主体6连接喷淋管4和进液管5。
20.具体的，锥形喷嘴7设置有14个。
21.其工作原理：使用时接通管路打开阀门就可以对晶圆片3进行喷淋清洗，晶圆片3与锥形喷嘴7距离在50-60mm为最佳喷淋位置，14个喷嘴完整覆盖整个晶圆片，喷淋效果最佳。
22.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
技术特征：
1.一种qdr槽喷淋板，其特征在于，包括qdr槽主体（1）、夹具（2）、晶圆片（3）、喷淋管（4）、进液管（5）、qdr喷淋板主体（6）、锥形喷嘴（7）、qdr喷淋接头板（8）、第一密封圈（9）和第二密封圈（10）；所述qdr喷淋接头板（8）安装在qdr喷淋板主体（6）上，所述qdr喷淋接头板（8）和qdr喷淋板主体（6）中间设置有进行防漏液密封的第一密封圈（9）和第二密封圈（10），所述qdr喷淋板主体（6）上均匀设置有若干个锥形喷嘴（7），所述qdr喷淋板主体（6）焊接在qdr槽主体（1）的左侧板上，所述qdr槽主体（1）通过夹具（2）固定有晶圆片（3），所述晶圆片（3）位于锥形喷嘴（7）正对面位置处且晶圆片（3）与锥形喷嘴（7）距离为50-60mm，所述qdr喷淋板主体（6）连接喷淋管（4）和进液管（5）。2.根据权利要求1所述的一种qdr槽喷淋板，其特征在于：所述锥形喷嘴（7）设置有14个。3.根据权利要求1所述的一种qdr槽喷淋板，其特征在于：所述qdr喷淋接头板（8）通过m6内六角螺丝（11）安装固定在qdr喷淋板主体（6）上。
技术总结
本实用新型公开了一种QDR槽喷淋板，包括QDR槽主体、夹具、晶圆片、喷淋管、进液管、QDR喷淋板主体、锥形喷嘴、QDR喷淋接头板、第一密封圈和第二密封圈，QDR喷淋接头板安装在QDR喷淋板主体上，QDR喷淋板主体上均匀设置有若干个锥形喷嘴，QDR喷淋板主体焊接在QDR槽主体的左侧板上，晶圆片位于锥形喷嘴正对面位置处且晶圆片与锥形喷嘴距离为50-60mm，本实用新型将喷淋板直接焊接在晶圆片正对面，配合多个锥形喷嘴，完整覆盖了整个晶圆片，大大提高了喷淋清洗的效果，同时流量也大为提高，提高了清洗效率。效率。效率。
技术研发人员：刘金升
受保护的技术使用者：苏州施密科微电子设备有限公司
技术研发日：2022.12.14
技术公布日：2023/5/14